伺服系统 七轴LDI激光直写平台
七轴LDI激光直写平台
采用无铁芯直线电机直驱控制，无齿槽效应，在低速下可平滑运行（速度波动小），同时配备非接触式高精度光栅尺，具备非常优秀的动态性能、定位精度和重复定位精度，与高精度升降Z轴配合使用，解析度可根据客户需求进行不同的设计。
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产品特点
可定制化
产品解析度可达20um，也可根据客户需求进行更高精度的定制。
高动态特性
最大加速度1g，最大速度1m/s
高精度
采用花岗岩设计，低膨胀系数，龙门控制系统，精准的控制算法。
应用领域
广泛应用于半导体生产线、微电子生产、LCD显示、LCD显示、线路板生产、PCB产品
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直为高精度定位平台产品
3.34
2022-11-01